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真空爐,指的是在爐腔這一特定空間內(nèi)利用真空系統(tǒng)將爐腔內(nèi)的氣體排出,使爐腔內(nèi)的氣體壓強小于一個標準大氣壓,在爐腔內(nèi)空間中實現(xiàn)真空狀態(tài)的一種特殊加熱設備。
真空爐按照應用可分為真空淬火爐、真空釬焊爐 、真空退火爐、真空加磁爐、真空回火爐、真空燒結爐、真空擴散焊爐、真空滲碳爐等。
大部分的真空爐是由如下七個系統(tǒng)組成:
1、爐體
爐體采用雙層圓筒結構,內(nèi)外壁之間通水冷卻,使爐體內(nèi)外壁保持在一個較低的溫度,防止加熱元件產(chǎn)生的熱量向外散溢造成危險。爐體的側部安設有真空抽接口、帶有真空充放氣閥門等。
2、爐蓋
臥式真空爐爐蓋側開,立式真空爐可采用上開蓋或下方升降開蓋方式。爐蓋也同用采用雙層水冷結構,內(nèi)外壁之間通水冷卻。
3、加熱保溫系統(tǒng)
可采用多種加熱元件進行加熱,如電阻絲、硅碳棒、硅鉬棒、石墨、鉬板及電子束、激光、感應加熱等。加熱電極為專門設計真空密封,保證與爐體的良好密封和絕緣。為保持溫度穩(wěn)定、節(jié)能降耗,一般會在真空腔體內(nèi)設置保溫爐膛,耐熱保溫材料可選擇氧化鋁纖維、高純石墨板和石墨纖維、鉬板和不銹鋼板制作的隔熱屏等。
4、測溫系統(tǒng)
根據(jù)不同溫度區(qū)間,可選用K型、N型、S型、B型熱電偶或紅外測溫儀測溫。
5、真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)是用來實現(xiàn)爐膛內(nèi)真空環(huán)境的,根據(jù)不同的真空度要求可選用機械泵、羅茨泵、擴散泵、分子泵等單獨或組合使用,配合真空擋板閥、高真空蝶閥、數(shù)顯真空計、真空壓力表、真空放氣閥、真空管路等形成真空系統(tǒng),并留有充氣接口。為減少爐體振動,真空管道與泵的連接采用金屬波紋管,真空度通過數(shù)顯真空計和真空壓力表顯示。
6、水冷系統(tǒng)
水冷系統(tǒng)由冷水機、集水器、進水管、回水管、閥門、管路等組成。通過管路供給真空機組、爐體、爐門等,以確保設備及時降溫隔熱,以策安全。如客戶的生產(chǎn)現(xiàn)場備用循環(huán)水系統(tǒng),亦可直接接入循環(huán)水實現(xiàn)降溫。
7、控制系統(tǒng)
溫度的控制是通過溫度程序控制儀根據(jù)用戶設定的工藝曲線,實行自動控制溫度,并具有PID自整定功能,也可根據(jù)用戶需要手動控制溫度。人機交互界面一般采用LCD觸控屏,可實現(xiàn)溫度曲線設置、溫度顯示、加熱和真空系統(tǒng)控制、報警顯示、數(shù)據(jù)記錄等功能。
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