服務(wù)熱線
177-3714-9370
PECVD等離子氣相沉積設(shè)備是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜, 該系統(tǒng)主要用于金屬粉末鍍膜。
產(chǎn)品優(yōu)勢
爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好
采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
爐體可傾斜,爐管可正、反轉(zhuǎn)且轉(zhuǎn)速可調(diào),使物料動態(tài)加熱,受熱更均勻、和所通氣體可充分接觸反應(yīng)
產(chǎn)品名稱 | 管式PECVD等離子氣相沉積系統(tǒng)(CE認(rèn)證) |
旋轉(zhuǎn)管式爐部分 | |
產(chǎn)品型號 | KJ-T1200 |
加熱區(qū)長度 | 660mm(220+220+220mm三溫區(qū)) (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
爐管材質(zhì) | 高純石英管(變徑管) |
爐管尺寸 | 變徑管 兩端尺寸OD:80mm* 400mm 中間尺寸OD:150mm* 400mm 總長1200mm 爐管中間部分焊接揚料板 (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
工作溫度 | ≦1100℃ |
最高溫度 | 1200℃ |
測溫元件 | 3支N型熱電偶分別控溫 |
溫控系統(tǒng) | 觸屏顯示,16段可儲藏曲線,30段PID微電腦可編程自動控制,能儲存和拷貝數(shù)據(jù) |
保溫溫控精度 | ±1℃ |
溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
升溫速率 | 建議0-10℃/min |
加熱元件 | 合金電阻絲 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好 |
法 蘭 | 水冷密封法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥,方便拆卸,放取材料 |
傾斜結(jié)構(gòu) | 可傾斜傾斜角0-15°(傾斜角可調(diào))方便進(jìn)出料 |
旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu) | 可 360 度旋轉(zhuǎn), 轉(zhuǎn)速0-15轉(zhuǎn)(速度可調(diào)) 材料在爐膛內(nèi)均勻受熱 |
真空系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 分子泵組: 旋片泵+分子泵 |
主要參數(shù) | 極限真空度6.7*10-3Pa(包含KF25接口、真空擋板閥和可移動箱體) |
真空顯示 | 實時顯示真空度 |
旋轉(zhuǎn)密封 | 磁流體密封,保證旋轉(zhuǎn)過程中還能抽真空 |
氣路系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 三路質(zhì)量流量計 |
氣路 | 三路 |
流量控制 | 液晶觸摸屏控制,數(shù)字顯示 |
進(jìn)出氣口 | 三進(jìn)一出,內(nèi)置精密混氣罐 |
等離子射頻器部分 | |
名稱 | 射頻自動匹配器 |
匹配功率范圍 | 0-500W |
工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
控制模式 | 手動/自動 |
管式PECVD等離子氣相沉積系統(tǒng)實拍
在線留言
報價清晰 材料透明 省錢省心
河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品!??!
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運行。
3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。