KJ-TX1000-H200LK3
KJ-A1200-1728LZ-L
KJ-A1400-80LWQ
KJ-V1600-12LW
國內(nèi)某大學研究實驗室的高溫爐全由我們科佳提供,現(xiàn)該實驗室由我們公司生產(chǎn)的兩臺CVD設(shè)備,一臺PECVD設(shè)備和多臺箱式爐與管式爐.其中最近采購的PECVD系統(tǒng)由滑動管式爐+帶質(zhì)量流量計R 三通道氣體混合裝置+真空泵裝置+一個射頻等離子體源組成。 這種PECVD設(shè)備適用于需要快速加熱和冷卻的石墨烯生長工藝和CVD實驗。
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