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產(chǎn)品型號:KJ-TX1100-S50LK1
主要用途:適用于粉體材料的表面薄膜沉積,在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。
PECVD旋轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)適用于粉體材料的表面薄膜沉積。系統(tǒng)由高功率射頻電源(500W,13.56MHz)、真空系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)管式爐組成。該設(shè)備是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應(yīng),環(huán)境溫度在100-300℃,但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化,從而大大提高了反應(yīng)物的活性,這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜,因此這種CVD稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積法。PECVD淀積的薄膜具有良好的電學(xué)性能、良好的襯底附著性以及非常好的臺階覆蓋性,正由于這些優(yōu)點使其在大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。
產(chǎn)品優(yōu)勢
PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點
爐管采用定制變徑爐管,管壁內(nèi)帶有石英撥料臺,讓物料受熱更充分。爐管360℃旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)
法蘭上帶有進出氣旋轉(zhuǎn)接頭,可以通入氮氣、氬氣等惰性保護氣體,可在氣氛環(huán)境下使用
安全防護,具有超溫保護功能,當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值后,自動報警保護功能,操作安全可靠
等離子體化學(xué)活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜
溫控系統(tǒng)采用PID智能化程序控溫,自整定功能并可編制多段升降溫程序
產(chǎn)品名稱 | PE旋轉(zhuǎn)管式爐 |
產(chǎn)品型號 | KJ-TX1100-S50LK1 |
爐膛材料 | 爐膛采用氧化鋁多晶纖維 |
爐管尺寸 | 兩端直徑約Φ30mm,中間尺寸Φ50mm 總長約1200mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
加熱區(qū) | 200mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
爐管材質(zhì) | 石英爐管 |
工作溫度 | ≤1000℃ |
最高溫度 | 1100℃ |
加熱元件 | 合金加熱絲 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱速率 | 建議10℃/min,可根據(jù)實驗工藝進行調(diào)節(jié) |
溫度測試元件 | N型熱電偶 |
控溫系統(tǒng) | 采用智能化多段PID可編程控制 溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制多段升降溫程序; 1、采用PID 方式調(diào)節(jié)控溫,可設(shè)置多段升降溫程序 2、控溫精度±1ºC 3、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
密封方式 | 采用磁流體和真空法蘭的密封方式,密封效果更好 |
旋轉(zhuǎn)速率 | 15rpm/min 可調(diào) |
旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu) | 旋轉(zhuǎn)方式,爐管可以360℃旋轉(zhuǎn),爐體可傾斜 |
真空系統(tǒng) | 1、采用旋片真空泵,冷態(tài)極限真空度可達10Pa,真空泵含粉塵過濾器 2、KF快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連; 3、數(shù)顯真空計顯示 |
等離子電源系統(tǒng) | 功率范圍 0-500W(連續(xù)可調(diào)) 工作頻率 13.56MHZ+0.005% 工作模式 連續(xù)輸出 冷卻方式 風(fēng)冷 |
售后服務(wù) | 12個月質(zhì)保、終身保修(加熱元件、爐管等隨機贈送配件不屬于質(zhì)保范圍) |
注意事項 | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,使用時會更加精確安全 · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度<1100℃ 不得通入氯化物、硫化物等易腐蝕性氣體,易造成法蘭等不銹鋼件的損壞 對于樣品加熱的實驗 不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。 若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù) 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
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