獲取報(bào)價(jià)
即刻留言 
添加微信咨詢(xún)報(bào)價(jià)服務(wù)熱線
177-3714-9370
當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > CVD/PECVD系統(tǒng) > 等離子體增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD)
PECVD帶尾氣處理裝置
產(chǎn)品型號(hào)：KJ-T1200-PECVD
主要用途：我公司根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求設(shè)計(jì)了此設(shè)備，設(shè)備設(shè)計(jì)滿(mǎn)足各類(lèi)薄膜研究的需求。
圖片點(diǎn)擊可放大
設(shè)備介紹
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）是一種利用輝光放電（等離子體）反應(yīng)生成含有氣態(tài)物質(zhì)的薄膜的薄膜生長(zhǎng)技術(shù)。該系統(tǒng)由高功率射頻電源、真空系統(tǒng)、管式爐組成，配備噴淋塔、活性炭箱，滿(mǎn)足尾氣處理的需要。該設(shè)備是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。我公司根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求設(shè)計(jì)了此設(shè)備，設(shè)備設(shè)計(jì)滿(mǎn)足各類(lèi)薄膜研究的需求。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
成品質(zhì)量好PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)
帶尾氣處理裝置配備噴淋塔、活性炭箱，離心吹掃機(jī)等尾氣處理裝置，滿(mǎn)足尾氣處理的需要
可通保護(hù)氣氛法蘭上帶有進(jìn)出氣旋轉(zhuǎn)接頭，可以通入氮?dú)?、氬氣等惰性保護(hù)氣體，可在氣氛環(huán)境下使用
安全防護(hù)功能安全防護(hù)，具有超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過(guò)允許設(shè)定值后，自動(dòng)報(bào)警保護(hù)功能，操作安全可靠
沉積效果好等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜
智能多段PID可編程溫控系統(tǒng)采用PID智能化程序控溫，自整定功能并可編制多段升降溫程序
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱(chēng) | PECVD |
| 產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200-PECVD |
| 爐膛結(jié)構(gòu) | 分體式，上部可打開(kāi)，方便拿取爐管 |
| 爐管尺寸 | 直徑Φ100mm，長(zhǎng)1500mm （其他尺寸可根據(jù)客戶(hù)需求定制） |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300mm（其他尺寸可根據(jù)客戶(hù)需求定制） |
| 爐管材質(zhì) | 石英爐管 |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 最高溫度 | 1200℃ |
| 加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 加熱速率 | 建議10℃/min，可根據(jù)實(shí)驗(yàn)工藝進(jìn)行調(diào)節(jié) |
| 溫度測(cè)試元件 | N型熱電偶 |
| 控溫系統(tǒng) | 采用智能化多段PID可編程控制 溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制多段升降溫程序； 1、采用PID 方式調(diào)節(jié)控溫，可設(shè)置多段升降溫程序 2、控溫精度±1ºC 3、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 密封方式 | 真空法蘭的密封方式，密封效果好 |
| 冷卻方式 | 空氣冷卻 |
| 真空系統(tǒng) | 擴(kuò)散泵系統(tǒng)： 真空度：10 -3 Torr~10 -4 Torr。 |
| 等離子電源系統(tǒng) | 功率范圍 0-500W（連續(xù)可調(diào)） 工作頻率 13.56MHZ+0.005% 功率穩(wěn)定度±1% 最大反射功率 200W |
| 質(zhì)量流量計(jì)? (液晶觸摸屏) |
兩臺(tái)精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC 精度為：±1.5% FS 氮?dú)庥?MFC 1 ：氣體流量范圍為 0~500sccm 氬氣用 MFC 2 ：氣體流量范圍為 0~500sccm |
| 廢氣處理裝備 | 2套噴淋塔 2套活性炭箱 1臺(tái)離心吹掃 |
| 注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，使用時(shí)會(huì)更加精確安全 · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 · 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ 不得通入氯化物、硫化物等易腐蝕性氣體，易造成法蘭等不銹鋼件的損壞 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn) 不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。 若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù) 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
帶尾氣處理裝置PECVD工廠實(shí)拍圖
在線留言
報(bào)價(jià)清晰 材料透明 省錢(qián)省心留言獲取報(bào)價(jià)單。一鍵提供設(shè)備報(bào)價(jià)、方案設(shè)計(jì)等服務(wù)，我們將第一時(shí)間給予回復(fù)！
聯(lián)系我們
河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶(hù)需求定制各式爐型，以滿(mǎn)足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶(hù)的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車(chē)爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類(lèi)電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶(hù)提供放心可靠的產(chǎn)品！?。?/font>
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿(mǎn)后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供上門(mén)服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶(hù)手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。