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177-3714-9370
產(chǎn)品型號(hào):KJ-T1200-PE
主要用途:適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行SiO2、SiNx薄膜的沉積,同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積,SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料,尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無(wú)損傷鈍化膜的沉積。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性
PECVD對(duì)于化學(xué)氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度
具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)
產(chǎn)品名稱 | PECVD系統(tǒng) |
產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200-PE |
外殼 | 不銹鋼 |
內(nèi)襯 | 兩層氧化鋁纖維 |
加熱元件 | 電阻絲 |
最高溫度 | 1200°C |
工作溫度 | ≤1100 °C |
溫度均勻 | ±1°C |
升溫速率 | ≤10 °C/min |
爐管尺寸 | Φ200×1400mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
管材 | 優(yōu)質(zhì)石英管 |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
密封 | 法蘭 |
溫度控制 | 30 個(gè)可編程段,用于準(zhǔn)確控制加熱速率、冷卻速率和停留時(shí)間。 內(nèi)置 PID 自動(dòng)調(diào)諧功能,具有過(guò)熱和熱電偶斷路保護(hù)。 過(guò)溫保護(hù)和警報(bào)允許在沒(méi)有服務(wù)人員的情況下進(jìn)行操作。 +/- 1 ºC 溫度精度。 |
準(zhǔn)確 | ±1°C |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
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