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產(chǎn)品型號:KJ-PECVD-LM
主要用途:該pecvd設(shè)備是由管式爐真空泵和六通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)組成的。它可以混合1-6種氣體用于PECVD或擴散。
產(chǎn)品優(yōu)勢
PECVD比普通CVD具有更高的化學氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性
PECVD對于化學氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度
具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點
型號 | KJ-PECVD-LM | |
管式爐部分 | Display | 觸摸屏 |
連續(xù)工作溫度. | ≤1100℃第一溫區(qū) ≤1100℃第二溫區(qū) ≤1600℃第三溫區(qū) |
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升溫速率 | 建議: 0~10℃/min | |
溫區(qū) | 220mm+220mm+220mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
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加熱元件 | 硅碳棒和硅鉬棒 | |
熱電偶 | N型和B型 | |
溫度控制精度 | ±1℃ | |
爐管尺寸 | 直徑:80 *長度:1600mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
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材料:氧化鋁管 | ||
溫度控制 | 通過SCR功率控制的PID自動控制 | |
傾斜功能 | 0-15度 (不建議在1100C溫度下使用傾斜功能,因為硅鉬棒加熱元件可能容易損壞。高溫時會變軟,請注意。) |
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加熱曲線 | 30步可編程 | |
真空法蘭 | 帶閥門的不銹鋼真空法蘭 右側(cè)法蘭為滑動式。 法蘭應為水冷式。 |
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等離子射頻 |
功率范圍 | 0-300W(連續(xù)可調(diào)) |
控制模式 | 手動 | |
工作頻率 | 13.56MHz | |
報警保護 | 直流過載保護、直流/放大器過熱保護、反射功率保護、匹配超時保護 | |
射頻輸出阻抗接口(50Ω) | N型 | |
功率穩(wěn)定性 | ≤ 1 W | |
最大反射功率 | 200 W | |
真空泵系統(tǒng) | 分子泵系統(tǒng) | 極限真空:6.7*10-3Pa。 包括數(shù)字真空計 |
質(zhì)量流量計 (LCD觸摸屏) |
六個精密質(zhì)量流量計: MFC精度為:±1.5%F.S。 |
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液體蒸氣發(fā)電機 | 包括自動液體蒸汽發(fā)生器,并連接到ALD閥 | |
17MHZ超聲波霧化 |
配超聲波霧化器,液體可霧化成液體顆粒并引入管式爐。 •液體罐標配不銹鋼,并用氟橡膠密封件密封; •霧化量大小可控制; |
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液體注入系統(tǒng) | •一套用于自動液體供給的標準液體注入泵 •注射泵配有注射器,用于容納液體; •注射泵速度可調(diào)節(jié) |
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水冷卻器 | 用于冷卻水冷法蘭和真空泵。 |
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
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