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產(chǎn)品型號(hào):KJ-T1200-JCY
主要用途:整套體系可在真空/氣氛保護(hù)環(huán)境下工作。 收放卷機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)速?gòu)?~400mm/min可調(diào),機(jī)構(gòu)采用反饋調(diào)節(jié),可自動(dòng)糾正轉(zhuǎn)速偏差,保證樣品的速度穩(wěn)定不走樣
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
收放卷機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)速?gòu)?~400mm/min可調(diào),機(jī)構(gòu)采用反饋調(diào)節(jié),可自動(dòng)糾正轉(zhuǎn)速偏差,保證樣品的速度穩(wěn)定不走樣
具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)
PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性
產(chǎn)品名稱 | 卷對(duì)卷PECVD系統(tǒng) | |
產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200-JCY | |
1200℃雙溫區(qū)管式爐 | 加熱溫區(qū) | 雙溫區(qū) 200mm+200mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
工作溫度 | ≤1200℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
控溫方式 | AI-PID 30段工藝曲線,可存儲(chǔ)多條 | |
爐管材質(zhì) | 高純石英 | |
爐管尺寸 | φ80mm x 1400mm L(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) | |
密封方式 | 不銹鋼真空法蘭 | |
工作氣體 | 氮?dú)?、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體 | |
真空泵 | 旋片式真空泵 | |
極限真空度 | 10^-1Pa | |
三路質(zhì)量流量計(jì) | 閥門類型 | 不銹鋼針閥 |
氣路數(shù)量 | 三路 | |
承壓范圍 | 0.05~0.3MPa | |
量程 | 1~100 SCCM(Ar) 1~200 SCCM(H2) 1~500 SCCM (CH4) |
|
流量控制范圍 | ±1.5% | |
S射頻電源 | 輸出功率 | 500W |
輸出精度 | ±1% | |
射頻頻率 | 13.56MHz | |
射頻穩(wěn)定度 | ±0.005% | |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
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