服務熱線
177-3714-9370
產(chǎn)品型號:KJ-T1200-S5030-H
主要用途:廣泛應用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。
PECVD系統(tǒng)由管式爐,真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。PECVD增加功能容易,可擴展等離子清洗刻蝕等功能,PECVD系統(tǒng)薄膜沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高等優(yōu)點。 等離子增強化學沉積系統(tǒng)廣泛應用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。
產(chǎn)品優(yōu)勢
PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點
等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜
可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小
產(chǎn)品名稱 |
高真空PECVD設備(CE認證) |
滑軌管式爐部分 |
|
產(chǎn)品型號 |
KJ-T1200-S5030-H |
爐管尺寸 |
Φ50mmX1600mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
爐管材質(zhì) |
石英管 |
加熱區(qū) |
300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
工作溫度 |
≤1100℃ |
最高溫度 |
1200℃ |
溫控方式 |
N型熱電偶 |
控制方式 |
觸屏控制,帶獨立搖臂,可以根據(jù)實際使用需求,調(diào)節(jié)溫控屏的角度,使用更方便 |
控溫精度 |
±1℃ |
溫控保護 |
具有超溫和斷偶保護功能 |
升溫速率 |
建議≤10ºC/min |
加熱元件 |
含鉬電阻絲 |
爐膛材料 |
氧化鋁多晶纖維 |
爐體結構 |
爐體帶滑軌,可實現(xiàn)快速升溫和降溫 |
法蘭接頭 |
標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥 |
密封系統(tǒng) |
該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好。 |
殼體 |
不銹鋼殼體 |
選配 |
輔助降溫風扇 |
真空系統(tǒng)部分 |
|
名稱 |
真空系統(tǒng) |
主要參數(shù) |
1.采用進口安捷倫高真空分子泵組,極限真空度可達10-3pa 2.KF25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連; 3.數(shù)字式真空顯示,測量精度高 |
氣路系統(tǒng)部分 |
|
名稱 |
四路質(zhì)量流量計 |
主要參數(shù) |
四通道精密質(zhì)量流量計:觸屏控制,數(shù)字顯示,自動控制。 4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側,可手動控制4種氣體; 進出氣口:3進1出 流量控制:手動旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié) |
等離子電源部分 |
|
名稱 |
500W等離子電源 |
售后服務 |
質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍) |
在線留言
報價清晰 材料透明 省錢省心
河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
1、我公司對所供設備提供質(zhì)保一年保修服務(易損件除外),在保修期內(nèi)因設備質(zhì)量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供上門服務(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。