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產(chǎn)品型號(hào):KJ-T1200-S80-DZPECVD-R
主要用途: 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。
該設(shè)備是一款定制的PECVD系統(tǒng),增加了傾斜、旋轉(zhuǎn)功能。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源,高溫管式爐,4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和分子泵機(jī)組。PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等,是科研機(jī)構(gòu)和大學(xué)實(shí)驗(yàn)室的理想產(chǎn)品。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
爐管采用定制變徑爐管,管壁內(nèi)帶有石英撥料臺(tái),讓物料受熱更充分。爐管360℃旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)
PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)
溫控系統(tǒng)采用PID智能化程序控溫,自整定功能并可編制多段升降溫程序
產(chǎn)品名稱 | 定制旋轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng) |
滑軌管式爐部分 | |
產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200-S80-DZPECVD-R |
爐管尺寸 | 直徑80*長(zhǎng)度1600mm 可選其他直徑Φ50,60,80,100,120,150mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
爐管材質(zhì) | 石英管 |
加熱區(qū) | 單溫區(qū),溫區(qū)長(zhǎng)度400mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
工作溫度 | ≤1100℃ |
最高溫度 | 1200℃ |
溫控方式 | N型熱電偶 |
控制方式 | 觸屏控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
升溫速率 | 建議≤10℃/min |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
法蘭接頭 | 標(biāo)配配有不銹鋼真空法蘭,已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,磁流體密封,氣密性好可實(shí)現(xiàn)爐管旋轉(zhuǎn)過(guò)程中的高真空。 |
真空系統(tǒng)部分 | |
主要參數(shù) | 采用高真空分子泵組,爐管內(nèi)真空度可達(dá)10-3pa |
氣路系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 四路質(zhì)量流量計(jì)(量程可選) |
等離子電源部分 | |
功率范圍 | 0-500W(連續(xù)可調(diào)) |
售后服務(wù) | 質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質(zhì)保范圍) |
更多規(guī)格可根據(jù)客戶需求定制 |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品!!!
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