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產(chǎn)品型號:KJ-PECVD-DZ
主要用途:廣泛應用于:各種薄膜的生長,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。
定制立式PECVD設備,由真空立式管式爐、石英真空室、射頻電源、供氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)組成。該系統(tǒng)以含鉬電阻絲為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端能不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點。PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統(tǒng)廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。
產(chǎn)品優(yōu)勢
等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜
PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點
可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小
產(chǎn)品名稱 | 定制PECVD設備 |
產(chǎn)品型號 | KJ-PECVD-DZ |
立式管式爐 | |
爐膛模式 | 立式開啟式 |
爐膛材料 | 高純度氧化鋁耐火纖維 |
加熱元件 | 含鉬加熱絲 |
極限溫度 | 1200℃ |
工作溫度 | ≤1100℃ |
升溫速率 | 建議≤10℃/min |
加熱溫區(qū) | 單溫區(qū)、多溫區(qū) |
溫區(qū)長度 | 200mm、300mm、440可選 (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
爐管材質 | 高純石英 |
爐管直徑 | 40mm/50mm/60mm/80mm/100mm/120mm/150mm可選 (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) |
控制模式 | 觸屏 30段智能PID程序控溫 預留通訊接口 |
控溫精度 | ±1℃ |
溫度曲線 | 多段"時間—溫度曲線"任意可設 |
測溫元件 | N型熱電偶 |
氣路系統(tǒng) | |
氣體通道 | 可同時連接多種氣源 |
流 量 計 | 質量流量計 |
氣路壓力 | -0.1~0.15 MPa |
截止閥 | 不銹鋼材質 |
氣體連接管 | 1/4不銹鋼管 |
等離子電源系統(tǒng) | |
功率范圍 | 0-100W、0-300W 、0-500W ± 1% |
冷卻 | 風冷 |
數(shù)顯真空計及連接件 | |
數(shù)顯真空計 | 數(shù)顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上 |
真空泵組(相關連接配件) | |
真空泵 | 真空泵,及相應連接管件 |
汽化系統(tǒng) | ... |
蠕動泵 |
精確度:+/- 0.5% FS 流量: 0 - 10 ml/min,可調,最小速率0.1ml/min |
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品!!!
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