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177-3714-9370
產(chǎn)品型號(hào):KJ-T1200-S60K-4C
主要用途:化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
KJ-T1200-S60K-4C型四路高溫真空CVD設(shè)備由KJ-T1200滑動(dòng)式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ,最高溫度可以達(dá)到1200度,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì),可以對(duì)多種氣體進(jìn)行準(zhǔn)確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部??焖偻嘶馉t爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機(jī)械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對(duì)滑軌,可用手動(dòng)滑動(dòng)。加為取得最快加熱,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻,可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端,是低成本快速熱處理的理想爐子。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
爐底安裝一對(duì)滑軌,可用手動(dòng)滑動(dòng),是低成本快速熱處理的理想爐子
三溫區(qū)獨(dú)立控溫,可以在加熱區(qū)內(nèi)形成溫度梯度或是形成較長(zhǎng)的恒溫區(qū)域
控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),可以設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度可以達(dá)到±1℃
產(chǎn)品名稱 | 四路高溫真空CVD設(shè)備 | |
產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200-S60K-4C | |
工作溫度 | ≤1100°C | |
最高溫度 | 1200°C | |
加熱速率 | 建議:0- 10°C/min | |
加熱區(qū) | 三溫區(qū) | |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 200+350+200mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
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控溫精度 | ±1°C | |
爐管直徑 | 直徑60mm,長(zhǎng)度約1200mm-1400mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
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真空法蘭 | 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計(jì),和閥門(mén)通過(guò)機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr,泄漏率可達(dá)6 mtorr/min | |
溫控 | 智能PID多段程序控溫 | |
加熱曲線 | 30段可編程 | |
質(zhì)子流量計(jì) | 4路精密質(zhì)子流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制。 MFC 1范圍: 0~100 sccm MFC 2范圍: 0~200 sccm MFC 3范圍: 0~200 sccm MFC 4范圍: 0~500 sccm 氣路:4路 流量精度: 0.2% 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套 一個(gè)混氣罐。 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。 通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量。 |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品!??!
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3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
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