服務(wù)熱線
177-3714-9370
產(chǎn)品型號(hào):KJ-T1500CVD-DZ
主要用途:主要用于TaC、HfC等物料及其復(fù)合碳化物等超高熔點(diǎn)涂層化學(xué)氣相沉積制備工藝研究
此款定制高溫氣相沉積系統(tǒng)由高溫沉積室、升華室、供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成。該CVD高溫管式爐主要用廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
有超溫保護(hù)和報(bào)警,及過熱和熱電偶斷裂保護(hù)功能,允許在無人值守的情況下運(yùn)行
控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),可以設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度可以達(dá)到±1℃
有效的提高了法蘭的氣氛性,法蘭上裝有多種接頭,可接電阻真空計(jì)、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈?zhǔn)?/p>
產(chǎn)品名稱 | 定制高溫CVD系統(tǒng) |
沉積爐 | |
產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1500CVD-DZ |
爐膛模式 | 開啟式 |
爐膛材料 | 氧化鋁耐火纖維 |
加熱元件 | U型硅鉬棒 |
極限溫度 | 1600℃高溫區(qū) |
工作溫度 | ≤1500℃高溫區(qū) |
升溫速率 | ≤10℃/min |
加熱溫區(qū) | 單溫區(qū)、雙溫區(qū)、多溫區(qū),可根據(jù)需求選擇 |
溫區(qū)總長度 | 200mm、300mm、400mm可選 (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
爐管材質(zhì) | 剛玉管 |
爐管直徑 | 40mm、50mm、60mm、80mm、100mm可選 (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
密封方式 | 定制不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) 底部法蘭有三個(gè)進(jìn)氣口 方便進(jìn)氣 底部法蘭加支架 方便工件放在沉積爐低溫區(qū) |
控制模式 | 每個(gè)溫區(qū)單獨(dú) 30段智能PID程序控溫 |
溫度曲線 | 多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè) |
測溫元件 | B型雙鉑銠熱電偶 |
供氣系統(tǒng) 集成在控制柜上 | |
氣體通道 | 可同時(shí)連接多種氣源 |
流 量 計(jì) | 浮子流量計(jì) |
A路量程 | 1L/MIN |
B路量程 | 1L/MIN |
C路量程 | 1L/MIN |
氣路壓力 | -0.1~0.15 MPa |
截止閥 | 不銹鋼材質(zhì) |
氣體連接管 | 1/4不銹鋼管 |
氣化爐A、B | |
最高溫度 | 700℃ |
工作溫度 | ≤500℃ |
爐膛尺寸 | 定制 |
開門方式 | 上開 |
進(jìn)氣口 | 一個(gè)進(jìn)氣口 |
出氣口 | 一個(gè)出氣口 |
售后服務(wù) | 12個(gè)月質(zhì)保(易耗件及人為損壞除外),終身保修 |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
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