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產(chǎn)品型號:KJ-PECVD-L
主要用途:科佳高真空PECVD設(shè)備由管式爐、真空系統(tǒng)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。該系統(tǒng)主要用于金屬薄膜、陶瓷薄膜、復(fù)合薄膜、石墨烯等的生長,,如SiOx、SiNx、SiOxNy和非晶硅(a-Si:H)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性
PECVD對于化學(xué)氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度
具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點
產(chǎn)品名稱 | 搖臂式集成控制PECVD設(shè)備 |
產(chǎn)品型號 | KJ-PECVD |
第一部分滑軌管式爐部分 | |
爐管尺寸 | Φ25mmX1600mm(最終長度取決于最終設(shè)計) |
爐管材料 | 石英管 |
加熱區(qū) | 200+200mm (雙溫區(qū)) |
工作溫度 | ≤1100°C |
最高溫度 | 1200°C |
溫度控制方法 | N型熱電偶 |
控制方式 | 觸摸屏控制,帶獨立搖臂,可根據(jù)實際需要調(diào)節(jié)溫控屏角度,使用更方便 |
溫度控制精度 | ±1℃ |
溫度控制保護(hù) | 具有過熱和燒毀保護(hù)功能 |
加熱速率 | 建議≤10ºC/min,最大20ºC/min |
加熱元件 | 電阻絲 |
工作電壓 | 交流220V單相50HZ/60HZ(電路電壓用戶可選擇定制) |
加熱功率 | 4KW |
爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
爐膛結(jié)構(gòu) | 爐體有滑軌,可實現(xiàn)快速加熱和冷卻 |
真空法蘭 | 標(biāo)準(zhǔn)配置配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥 |
密封系統(tǒng) | 爐管和法蘭采用硅膠O型圈擠壓密封,拆卸方便,可反復(fù)拆卸,氣密性好。 |
外殼 | 碳鋼或不銹鋼外殼 |
可選 | 輔助冷卻風(fēng)扇 |
第二部分真空系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 真空系統(tǒng) |
主要參數(shù) | 1.采用中國品牌高真空分子泵組,極限真空度可達(dá)6.7x10-3pa(空冷狀態(tài)) 2.KF25快速連接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥和法蘭,真空泵連接; 3、數(shù)字真空顯示,測量范圍為5×10-50-150mbar,測量精度高 |
第三部分供氣系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 四通質(zhì)量流量計 |
主要參數(shù) | 四通道精密質(zhì)量流量計:觸摸屏控制、數(shù)字顯示、自動控制 1、流量范圍:MFC 1-MFC3:10-1000sccm可調(diào) MFC1:CH4 0-10sccm MFC2:H2 0-200sccm MFC3:0-200sccm MFC4:0-300sccm 控制精度:±1.5%F.S。 2.一個混合罐 3.供氣系統(tǒng)左側(cè)安裝4個不銹鋼針閥,可手動控制4種氣體; 4.進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口:4進(jìn)1出 流量控制:LCD觸摸屏 注:不支持液體或腐蝕氣體。 |
第四部分等離子電源部分 | |
名稱 | 500W等離子電源 |
功率范圍 | 0-500W(連續(xù)可調(diào)) |
工作頻率 | 13.56兆赫+0.05% |
操作模式 | 連續(xù)輸出 |
RF輸出阻抗接口 | N型,內(nèi)螺紋(50Ω) |
功率穩(wěn)定性 | ≤2W |
最大反射功率 | 70W |
電源保護(hù)設(shè)置 | 直流過流保護(hù)、功率放大器過溫保護(hù)、反射功率保護(hù) |
電源電壓/頻率 | 單相交流(187V-253V)50-60HZ |
冷卻法 | 空氣冷卻 |
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
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