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產(chǎn)品型號:KJ-T1200-S60LC-H2
主要用途:KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機(jī)是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng)、等離子電源系統(tǒng)組成??蛇m用于石墨烯生長等
產(chǎn)品優(yōu)勢
具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)
PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性
真空系統(tǒng)由旋片真空泵和進(jìn)口數(shù)顯真空計(jì)組成,最高真空可達(dá)10Pa
產(chǎn)品名稱 | 石墨烯生長爐PECVD設(shè)備 |
開啟式滑軌管式爐部分 | |
產(chǎn)品型號 | KJ-T1200-S60LC-H2 |
爐管尺寸 | 直徑60mm*長度1600mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
加熱區(qū)長度 | 300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
工作溫度 | ≤1100℃ |
最高溫度 | 1200℃ |
溫控方式 | N型熱電偶 |
控制方式 | 溫度控制系統(tǒng)采用觸屏操作,人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制 30 段升降溫程序; |
控溫精度 | ±1℃ |
溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
升溫速率 | 建議≤10℃/min |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好。 |
爐體結(jié)構(gòu) | 滑軌結(jié)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)快速降溫 |
爐 管 | 石英爐管 |
真空系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 真空系統(tǒng) |
主要參數(shù) |
采用旋片真空泵和進(jìn)口數(shù)顯真空計(jì)組成,真空度可達(dá)10Pa |
名稱 | 四路質(zhì)量流量計(jì) |
主要參數(shù) | 四通道精密質(zhì)量流量計(jì):觸屏控制,數(shù)字顯示。 進(jìn)出氣口:4進(jìn)1出 |
等離子電源部分 | |
名稱 | 500W等離子電源 |
功率范圍 | 0-500W(連續(xù)可調(diào)) |
工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
售后服務(wù) | 整機(jī)質(zhì)保一年,終身保修(加熱元件、密封圈等隨機(jī)贈送配件不屬于質(zhì)保范圍) |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn);產(chǎn)品型號達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
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