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產(chǎn)品型號:KJ-T1200 PECVD
主要用途:KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)的管式爐系統(tǒng),它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴(kuò)散。
產(chǎn)品優(yōu)勢
具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)
PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性
PECVD對于化學(xué)氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度
型號 | KJ-T1200 PECVD | |
等離子射頻電源 |
輸出功率 | 5 -500W可調(diào),均勻性 ± 1% |
RF頻率 | 13.56 MHz ±0.005% | |
反射功率 | 最大 200W | |
冷卻 | 空氣冷卻 | |
管式爐部分 |
顯示 | LED |
形式 | 分體式和上部可打開 | |
連續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ | |
升溫速率 | 建議:0~10℃/min | |
溫區(qū)長度 | 500mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) | |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 | |
熱電偶 | N型 | |
溫度均勻性 | ±1℃ | |
爐管尺寸 | 200m外徑 *長度1600mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
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材質(zhì):石英管 | ||
溫度控制 | 通SCR功率控制進(jìn)行 PID 自動控制 | |
加熱曲線 | 30步可編程 | |
法蘭 | 不銹鋼帶閥真空法蘭 | |
真空泵![]() |
旋片真空泵 流量:4L/S 旋片式真空泵將設(shè)計成帶輪的推車。 |
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質(zhì)量流量計 | 三款精密質(zhì)量流量計: MFC 1:氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 2:氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 3:氣體流量范圍從 0~100 sccm (或根據(jù)您的要求) 底殼安裝1個氣體混合罐,底殼左側(cè)安裝3個不銹鋼針閥,手動控制3種氣體混合 ![]() |
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真空計 | 數(shù)字真空計 |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn);產(chǎn)品型號達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
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