服務(wù)熱線
177-3714-9370
產(chǎn)品型號:KJ-T1200-S6044-LK-Z
主要用途:滑道式PECVD系統(tǒng)由PT-1200T管式爐加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng)、等離子射頻電源系統(tǒng)組成。廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)等。
產(chǎn)品優(yōu)勢
PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)
等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜
溫控系統(tǒng)采用PID智能化程序控溫,自整定功能并可編制多段升降溫程序
產(chǎn)品名稱 | 滑道式PECVD系統(tǒng) |
滑軌管式爐部分 | |
產(chǎn)品型號 | KJ-T1200-S6044-LK-Z |
加熱區(qū)長度 | 440mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
爐管直徑 | 直徑60mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
工作溫度 | ≦1100℃ |
最高溫度 | 1200℃ |
測溫元件 | N型熱電偶 |
溫控系統(tǒng) | PID微電腦可編程自動(dòng)控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
升溫速率 | 0-10℃/min |
加熱元件 | 電阻絲 |
滑軌設(shè)計(jì) | 能實(shí)現(xiàn)快速升降溫 |
爐膛材料 | 采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好 |
爐 管 | 高純石英管 |
法 蘭 | 不銹鋼法蘭,方便拆卸,放取材料 |
真空系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 高真空分子泵組 |
主要參數(shù) | 真空泵極限真空度10-3 pa(包含KF25接口和可移動(dòng)箱體) |
氣路系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 四路質(zhì)量流量計(jì) |
氣路 | 四路 |
流量控制 | 每路氣體含有針閥單獨(dú)控制 |
流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) |
等離子電源系統(tǒng) | |
匹配功率范圍 | 0-500W |
工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
控制模式 | 手動(dòng)/自動(dòng) |
售后服務(wù) | 質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍) |
在線留言
報(bào)價(jià)清晰 材料透明 省錢省心
河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn);產(chǎn)品型號達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。