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產(chǎn)品型號:KJ-TRTP1000
主要用途:真空RTP退火爐可在真空、氣氛環(huán)境下,對樣品進(jìn)行快速熱處理,主要應(yīng)用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室,如:薄膜沉積,不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。
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可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調(diào)出。
真空RTP退火爐是一款真空度比較高的快速熱處理管式爐,配有石英腔體和真空法蘭,采用鹵素?zé)艏訜?,升溫速度可達(dá)50℃/秒,PID自動控制,30段可編程序,它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片的退火而設(shè)計。該高溫退火管式爐可在真空、氣氛環(huán)境下,對樣品進(jìn)行快速熱處理,主要應(yīng)用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室,如:薄膜沉積,不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。
產(chǎn)品優(yōu)勢
加熱元件采用鹵素?zé)艏訜?,升溫速度可達(dá)50℃/秒
爐子的底部安裝有一對滑軌,可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動到另一側(cè),以實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻
30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器,控溫精度高,可達(dá)±1℃
處理晶圓尺寸:2英寸 | 處理晶圓尺寸:4英寸 | 處理晶圓尺寸:6英寸 | |||
爐管外徑 | 100MM | 爐管外徑 | 110-150MM | 爐管外徑 | 180MM |
加熱區(qū)尺寸 | 200MM | 加熱區(qū)尺寸 | 300MM | 加熱區(qū)尺寸 | 400MM |
產(chǎn)品名稱 | RTP 快速退火爐 |
工作溫度 | 900℃ |
控 制 器 | LED(可選配LCD觸屏) |
爐 膛 | 開啟式 滑道式 |
爐管尺寸 | 根據(jù)需求尺寸定制 |
加熱元件 | 鹵素?zé)?/span> |
升溫速率 | ≤50℃/S |
熱 電 偶 | 根據(jù)實際需要設(shè)計來配 |
溫度控制器 | 30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器 |
特殊要求 | 具體細(xì)節(jié)可根據(jù)客戶需求定制(詳情歡迎來電咨詢我們) 1、可定制真空系統(tǒng) 2、可定制氣路系統(tǒng) 3、其他特殊工藝需求 |
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
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