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內(nèi)熱式真空熱處理爐與外熱式真空熱處理爐相比,結(jié)構(gòu)和控制系統(tǒng)比較復雜,制造和安裝精度比較高,調(diào)試難度大,造價較貴。但是內(nèi)熱式真空熱處理爐慣性小,熱效率較高,可以實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻,使用溫度高,目前已有2200~2500℃的內(nèi)熱式真空爐研制成功并用于生產(chǎn),同時內(nèi)熱式真空爐可以大型化,便于連續(xù)作業(yè),自動化程度高,生產(chǎn)效率高。近十幾年來,內(nèi)熱式真空爐迅速發(fā)展,已經(jīng)成為當前真空熱處理爐的主流爐型。
內(nèi)熱式真空爐的優(yōu)點主要有以下七點:
1.可以制造大型高溫爐,而不受爐罐限制;
2.加熱和冷卻速度快,生產(chǎn)效率高;
3.因不采用耐熱爐罐,溫度范圍廣,最高加熱溫度可達到2200℃或更高;
4.易于實現(xiàn)全過程的自動化,工作中無污染,環(huán)境好,操作安全;
5.爐子熱慣性小,加熱和冷卻工序循環(huán)短,熱效率高,生產(chǎn)效率也高;
6.爐溫均勻性好,可達±5℃,工件加熱均勻,變形微小,產(chǎn)品質(zhì)量好;
7.加熱期間不需要保護氣氛,除非為防止金屬揮發(fā)或在低溫區(qū)提高加熱速度和爐溫均勻性通入的氣體外,一般充入氣體多采用N₂,Ar或Ne氣等。
內(nèi)熱式真空爐的缺點有以下三點:
1.爐內(nèi)結(jié)構(gòu)復雜,爐子造價高,電氣絕緣性要求高;
2.與外熱式真空爐相比,爐內(nèi)容積大,各種構(gòu)件表面吸附大量氣體,需配大功率抽氣系統(tǒng);
3.考慮真空放電和電氣絕緣性,要低電壓大電流供電,需配套系統(tǒng)。
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