自動壓力控制CVD管式爐

產(chǎn)品型號：KJ-1200T

主要用途：主要用于稀土制備、電子照明、晶體退火、生物陶瓷、電子陶瓷、特種合金、磁性材料、精密鑄造、金屬熱處理等工業(yè)真空燒結(jié)、保護(hù)氣氛燒結(jié)、CVD實(shí)驗(yàn)、真空沉積、材料成分測定場合。

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設(shè)備介紹

自動壓力控制CVD管式爐是鄭州科佳生產(chǎn)的一款CVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備，型號為KJ-1200T，該設(shè)備最高工作溫度為1100℃，配備真空泵，氣體混合裝置?？販叵到y(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié)，高溫精度，出色的氣體流量精度，易于操作，有非常好的隔熱效果和溫度均勻性。主要用于稀土制備、電子照明、晶體退火、生物陶瓷、電子陶瓷、特種合金、磁性材料、精密鑄造、金屬熱處理等工業(yè)真空燒結(jié)、保護(hù)氣氛燒結(jié)、CVD實(shí)驗(yàn)、真空沉積、材料成分測定等場合。

產(chǎn)品優(yōu)勢

自動壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)
配置觸摸屏PLC控制器，可根據(jù)需求將壓力調(diào)節(jié)為 50-300torr
多重安全防護(hù)功能
有超溫保護(hù)和報警，及過熱和熱電偶斷裂保護(hù)功能，保證了設(shè)備和人員安全。
控溫精度可以達(dá)到±1℃
控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié)，可以設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度可以達(dá)到±1℃

技術(shù)參數(shù)

設(shè)備名稱	自動壓力控制CVD管式爐
設(shè)備型號	KJ-1200T
加熱元件	摻鉬鐵鉻鋁合金
最高工作溫度	1200℃
連續(xù)工作溫度	≤1100℃
升溫速率	建議0-10 ℃/min
爐管尺寸	外徑 50mm x 長1200 mm （其他尺寸可按客戶需求定制）
加熱區(qū)長度	200mm+200mm+200mm（其他尺寸可按客戶需求定制）
熱電偶	N型
控溫系統(tǒng)	PID30段程序化控溫
控溫精度	+/- 1 ℃
壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)	質(zhì)量流量計(jì)一臺：可根據(jù)泵壓力調(diào)節(jié) 壓力傳感器：安裝在爐管出口處觸摸屏控制器
皮拉尼真空計(jì)	安裝在爐管進(jìn)氣側(cè)
四通道MFC氣體混合站	顯示：液晶觸摸屏最大壓力：3×10^6Pa 四個精密質(zhì)量流量計(jì)：底殼上安裝有1個氣體混合罐，底殼左側(cè)安裝有5個不銹鋼針閥，可手動控制4種氣體混合。
真空泵	渦旋真空泵
售后服務(wù)	質(zhì)保一年，終身保修

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主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>

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