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產(chǎn)品型號:KJ-CVD-1700-60*300-F3
主要用途:該高溫化學氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為300℃至1600℃,配備真空泵,氣體混合裝置。采用溫度控制系統(tǒng),高溫精度,出色的氣體流量精度,易于操作,出色的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學,科研機構和生產(chǎn)企業(yè)進行氣相沉積相關的實驗與生產(chǎn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
爐管采用剛玉材質,工作溫度可達1600度,具有高溫穩(wěn)定性和耐腐蝕性,加熱均勻性好
控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃
爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、密封性強,法蘭帶閥門和相關接口,可抽真空通氣氛
產(chǎn)品名稱 | 高溫化學氣相沉積系統(tǒng) | |
產(chǎn)品型號 | KJ-CVD-1700-60*300-F3 | |
加熱部分 | 顯示 | LED |
最高溫度 | 1700℃ | |
工作溫度 | ≤1600℃ | |
升溫速率 | 建議: 0~10℃/min | |
加溫溫區(qū) | 300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) | |
加熱元件 | 硅鉬棒 | |
熱電偶 | B 型 | |
控溫精度 | ±1℃ | |
爐管尺寸 | 60 x 900mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) | |
剛玉管 | ||
溫度控制 | PID自動控制 | |
升溫速率 | 30段可編程 | |
最大工作壓力 | 0.02MPa | |
真空部分 | 真空泵總成 (旋轉葉片泵+擴散泵) | 冷態(tài)極限真空6.67*10-3Pa。 |
真空測量 | 復合真空計。 | |
真空法蘭 | 帶閥和針的不銹鋼真空法蘭 | |
質量流量計(3條氣體路線Ar、H2、CH4) | 流量范圍 | (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM |
輸入電壓信號 | 0 V ~ +5.00 V | |
輸出電壓信號 | 0 V ~ +5.00 V |
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
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