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三溫區(qū)CVD設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)：KJ-OTF-1700-F5
主要用途：此款三溫區(qū)CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
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設(shè)備介紹
這款CVD反應(yīng)爐控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡(jiǎn)單，中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能，高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng)，耐沖擊分子泵防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。此款三溫區(qū)CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
PID程控控制系統(tǒng)控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠
耐沖擊高真空系統(tǒng)高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng)，耐沖擊真空泵，防止意外漏氣造成真空泵損壞，延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命
剛玉材質(zhì)爐管 爐管采用剛玉材質(zhì)，工作溫度可達(dá)1600度，具有高溫穩(wěn)定性和耐腐蝕性，加熱均勻性好
技術(shù)參數(shù)
| 名稱 | 高溫三溫區(qū)CVD設(shè)備 | |
| 型號(hào) | KJ-OTF-1700-F5 | |
| 加熱系統(tǒng) | 顯示 | LED |
| 最高溫度 | 1700℃ | |
| 工作溫度 | ≤1600℃ | |
| 升溫速率 | 建議0~10℃/min | |
| 溫區(qū)數(shù)量 | 3 | |
| 溫區(qū)長(zhǎng)度 | 220mm（其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） | |
| 加熱元件 | 硅鉬棒 | |
| 熱電偶 | B型 | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 管尺寸 | 外徑80mm * 長(zhǎng)度1400mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
|
| 材質(zhì)：剛玉 | ||
| 溫度控制 | PID自動(dòng)控制 | |
| 溫控方式 | 30段可編程 | |
| 真空計(jì) | 復(fù)合真空計(jì) | |
| 真空法蘭 | 帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭 | |
| 真空泵系統(tǒng) | 真空泵組 （旋片泵+擴(kuò)散泵） |
冷態(tài)極限真空6.67*10-3Pa。 |
| 質(zhì)量流量計(jì)（5氣路） | 流量范圍 | (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
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