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帶蒸發(fā)器定制款CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：KJ-T1600-CVD
主要用途：廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料等的鍍膜，該設(shè)備可在目標材料表面形成密集的HfCl4涂層.
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設(shè)備介紹
該設(shè)備由蒸發(fā)器、混合器和反應(yīng)器組成。采用氧化鋁纖維耐火材料。設(shè)備技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠，溫場均勻，結(jié)構(gòu)合理，30段可編程溫控系統(tǒng)，氣路選用液晶屏觸摸界面，使得操作異常簡單、方便設(shè)置各項技術(shù)參數(shù)。該CVD高溫爐廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料等的鍍膜，該CVD鍍膜設(shè)備可在目標材料表面形成密集的HfCl4涂層.適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域。產(chǎn)品優(yōu)勢
PID控溫系統(tǒng)控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié)，可以設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度可以達到±1℃
觸屏操作方式氣路選用液晶屏觸摸界面，使得操作異常簡單、方便設(shè)置各項技術(shù)參數(shù)
專利技術(shù)法蘭專利技術(shù)快接法蘭，帶閥門和相關(guān)接口，拆裝方便，可抽真空充保護氣體至微正壓
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | CVD系統(tǒng) |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1600-CVD |
| 第一部分： 定制坩堝爐（蒸發(fā)系統(tǒng)） | |
| 使用溫度 | 超過500℃ |
| 工作區(qū)尺寸 | Φ150 x H320mm（不銹鋼內(nèi)膽的有效尺寸） （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 坩堝 | 不銹鋼材質(zhì)，形式及具體要求可定制 |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 升溫速率 | 0-10°C/min |
| 漏率 | 20Pa/min |
| 第二部分：定制小管式爐（混氣系統(tǒng)） | |
| 使用溫度 | 超過500℃ |
| 工作區(qū)尺寸 | Φ150 x H200mm（不銹鋼內(nèi)膽尺寸） （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 混氣罐 | 不銹鋼 |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 漏率 | 20Pa/min |
| 第三部分 1600度管式爐（反應(yīng)器） | |
| 最高溫度 | 1600℃ |
| 長期工作溫度 | 1500℃ |
| 爐管尺寸 | OD100/ID90,加熱區(qū)300mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 爐管材質(zhì) | 高純氧化鋁管 |
| 加熱元件 | 硅鉬棒 |
| 漏率 | 20Pa/min |
| 真空度 | 抽真空度到-7*10-3Pa 壓力范圍不超過0.02MPa |
| 更多參數(shù)可根據(jù)需求定制 | |
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產(chǎn)品型號達到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品！?。?/font>
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